Scandium Metal Target

Specifications

Product Features

圆形，方形或旋转靶，可绑定

원형, 정사각형 또는 회전 대상, 바인딩 가능

Applications

与铝靶共溅射制备ScAlN 氮化铝钪压电薄膜，压电系数远高于纯AlN，用于BAW、SAW射频滤波器、射频 MEMS传感器，拓宽通信带宽、提升信号滤波性能，是手机、基站射频前端核心镀膜材料；也用于超声换能器、物联网振动能量采集器件。

Co-sputtered with aluminum targets to prepare ScAlN piezoelectric films, whose piezoelectric coefficient is much higher than pure AlN. These films are used in BAW and SAW RF filters and RF MEMS sensors, broadening communication bandwidth and improving signal filtering performance. They are core coating materials for mobile phones and base-station RF front ends, and are also used in ultrasonic transducers and IoT vibration energy harvesters.

알루미늄 타겟과 함께 스퍼터링하여 ScAlN 압전 필름을 준비했습니다. 압전 계수는 순수 AlN보다 훨씬 높습니다. 이 필름은 BAW 및 SAW RF 필터 및 RF MEMS 센서에 사용되어 통신 대역폭을 넓히고 신호 필터링 성능을 향상시킵니다. 휴대폰 및 기지국 RF 프런트 엔드의 핵심 코팅 재료이며 초음파 변환기 및 IoT 진동 에너지 하베스터에도 사용됩니다.