PVD 코팅 소재 / 스퍼터링 타깃
스칸듐 금속 타깃
제품 사양
| 제품명 | 스칸듐 금속 타깃 |
|---|---|
| 제품군 | PVD 코팅 소재 |
| 카테고리 | 스퍼터링 타깃 |
| 화학식 / 조성 | Sc |
| 순도 | 99.95%~99.99% |
| 표준 규격 | 원형 타깃 직경 < 350mm;사각 타깃 폭 < 240mm;사각 타깃 길이 < 550mm;Tube Target OD < 300mm |
| 포장 | 진공 포장 |
| 맞춤 제작 | 예 |
제품 특징
원형, 정사각형 또는 회전 대상, 바인딩 가능
적용 분야
알루미늄 타겟과 함께 스퍼터링하여 ScAlN 압전 필름을 준비했습니다. 압전 계수는 순수 AlN보다 훨씬 높습니다. 이 필름은 BAW 및 SAW RF 필터 및 RF MEMS 센서에 사용되어 통신 대역폭을 넓히고 신호 필터링 성능을 향상시킵니다. 휴대폰 및 기지국 RF 프런트 엔드의 핵심 코팅 재료이며 초음파 변환기 및 IoT 진동 에너지 하베스터에도 사용됩니다.
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