PVD 코팅 소재 / 스퍼터링 타깃
알루미늄 금속 타깃
제품 사양
| 제품명 | 알루미늄 금속 타깃 |
|---|---|
| 제품군 | PVD 코팅 소재 |
| 카테고리 | 스퍼터링 타깃 |
| 화학식 / 조성 | Al |
| 순도 | 99.99%~99.999% |
| 표준 규격 | 원형 타깃 직경 < 350mm;사각 타깃 폭 < 240mm;사각 타깃 길이 < 550mm;Tube Target OD < 300mm |
| 포장 | 진공 포장 |
| 맞춤 제작 | 예 |
제품 특징
원형, 정사각형 또는 회전 대상, 바인딩 가능
적용 분야
고순도 알루미늄 스퍼터링 타깃은 디스플레이 패널의 TFT 금속 배선 및 OLED 픽셀 반사 전극에 널리 사용되며 성숙한 반도체 공정에서 알루미늄 인터커넥트 및 웨이퍼 본딩 알루미늄 패드의 핵심 소모품입니다. 또한 박막 광전지 후면 반사기, 장식용 거울 코팅, 전자파 차폐 및 Low-E 에너지 절약형 유리 광학 필름에도 사용됩니다. 알루미늄 타겟을 스칸듐 타겟과 함께 스퍼터링하여 ScAlN 압전 필름을 준비할 수 있습니다.
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