PVD 코팅 소재 / 스퍼터링 타깃
알루미늄-스칸듐 합금 타깃
제품 사양
| 제품명 | 알루미늄-스칸듐 합금 타깃 |
|---|---|
| 제품군 | PVD 코팅 소재 |
| 카테고리 | 스퍼터링 타깃 |
| 화학식 / 조성 | Al-Sc |
| 순도 | 99.9%~99.99% |
| 표준 규격 | 원형 타깃 직경 < 350mm;사각 타깃 폭 < 240mm;사각 타깃 길이 < 550mm |
| 포장 | 진공 포장 |
| 맞춤 제작 | 예 |
제품 특징
원형, 바인딩 가능
적용 분야
고순도 알루미늄-스칸듐 합금 스퍼터링 타깃은 주로 반응성 스퍼터링으로 5G/6G RF AlScN 압전 필름을 준비하는 데 사용되며 휴대폰 및 기지국 BAW 필터의 핵심 소모품 역할을 합니다. 또한 IGZO 디스플레이 백플레인 도펀트 층 및 강유전성 메모리 필름 재료로도 사용됩니다. 추가 용도로는 반도체 전력 장치용 버퍼층, 광전지 패시베이션 필름, RF 통신용 고온 항공우주 보호 코팅, 고급 스토리지, 고급 디스플레이 및 신에너지 박막 연구 등이 있습니다.
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