技术与质量

围绕材料性能构建的工艺能力

从原材料制备到最终交付,我们的工艺平台支持成分、结构、尺寸和表面状况受控的高纯度金属、合金、溅射靶材和功能粉末。

集成流程平台

从材料准备到成品

我们的能力覆盖金属熔炼与提纯、粉末冶金、塑性加工、精密机加工、清洗及防护包装。设备、工艺设计与经验丰富的技术人员协同配合,为研发样品和持续生产批次提供支持。

  1. 01熔炼与提纯
  2. 02粉体加工
  3. 03塑性加工
  4. 04精密加工
  5. 05清洗与包装
Controlled high-vacuum metal melting and purification

01 / 原料准备

金属熔炼、合金化与提纯

不同的金属需要不同的工艺路线。根据熔点、蒸气压、活性、杂质分布和目标纯度,我们将真空熔炼、蒸馏、悬浮熔炼和电子束熔炼相结合。需要时,可通过专业合作伙伴进行区域精炼。

关键操作使用定制或改装的高真空设备来提高真空稳定性和工艺兼容性,有助于减少与真空条件不足相关的氧化、挥发性损失、夹杂物和缺陷。

  • 真空熔炼
  • 蒸馏
  • 悬浮熔炼
  • 电子束熔炼
  • 区域熔炼协作
Protected-atmosphere metal powder preparation and screening

02 / 粉末冶金

保护气氛下的制粉工艺

进口制粉和筛分设备支持控制制备和粒度分级。我们的非氢爆裂和非球磨路线在惰性气氛下运行,以减少氧化并最大限度地减少传统机械破碎或研磨可能引入的污染。

多年的粉末制造经验为粉末冶金、功能粉末和后续成型工艺提供了实践基础。

  • 进口粉体设备
  • 惰性气氛
  • 受控筛分
  • 降低污染风险
Scientific visualization of metal grain refinement

03 / 塑性加工

组织细化与靶材取向控制

大吨位热轧设备结合针对不同材料设定的温度窗口与变形路径,通过专业轧制工艺提高材料致密度、细化内部晶粒,并控制靶材的晶粒取向与组织均匀性。

这种受控结构为后续加工和薄膜沉积应用提供了更稳定的基础。

  • 大吨位热轧
  • 晶粒细化
  • 方向控制
  • 结构均匀性
Five-axis precision machining of a metal sputtering target

04 / 精密加工

特定材料的精密加工

包括五轴加工中心在内的定制加工设备,可支持圆形、矩形及复杂异形结构。加工团队根据材料硬度、延展性、脆性和表面敏感性,选择适合的刀具、切削参数及装夹方式。

目标是保持尺寸精度,同时减少边缘碎裂、变形、表面损坏和加工污染。

  • 五轴加工
  • 定制几何形状
  • 脆性材料能力
  • 基于图纸的生产
Cleanroom inspection, surface protection, and packaging of a sputtering target

05 / 成品处理

清洗、表面防护与包装

成品在千级洁净环境中完成清洗与包装。通过超声波清洗、专用清洗工艺和定制包装设备,对加工残留、颗粒及二次污染进行控制。

针对大型靶材及表面敏感材料,我们提供专业靶材清洗与覆膜,并可采用真空、惰性气体保护、防潮或其他适配材料特性的包装方式。

  • 千级洁净室
  • 超声波清洗
  • 大型靶材清洗
  • 保护膜
  • 真空或惰性包装

核心技术价值

设备、材料知识和工艺集成

我们的优势来自于将设备能力与材料经验和工艺设计相结合。每条路线均根据原材料特性和最终应用要求进行选择,从而能够系统地控制纯度、成分、结构、尺寸和表面状况。

质量体系

检测与分析设备

我们的检测设备支持元素分析、微观组织观察、物相鉴定、密度测量和粒度表征。

Oxygen, nitrogen and hydrogen analyzer
01氧氮氢分析仪
Scanning electron microscope
02扫描电子显微镜(SEM)
ICP-OES elemental analysis equipment
03电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)
Density analyzer
04密度测试仪
Particle size analyzer
05粒度分析仪
X-ray diffractometer
06X射线衍射仪(XRD)