PVD 镀膜材料 / 溅射靶材
金属铪靶
产品规格
| 产品名称 | 金属铪靶 |
|---|---|
| 产品线 | PVD 镀膜材料 |
| 产品类别 | 溅射靶材 |
| 化学式 / 成分 | Hf |
| 纯度 | Hf+Zr≥99.95% |
| 标准尺寸 | 圆靶直径 < 350mm;矩形靶宽度 < 240mm;矩形靶长度 < 550mm |
| 包装 | 真空包装 |
| 定制 | 是 |
产品特点
圆形,方形,可绑定
应用领域
高纯金属铪溅射靶材核心用于先进半导体高 k 栅介质、铁电存储薄膜与IGZO显示背板掺杂层,是 5–28nm芯片、高端OLED面板量产刚需耗材。同时可制备红外激光光学镀膜、钙钛矿光伏钝化膜、航空耐高温防护层,也用于核中子屏蔽、射频功率器件与各类前沿薄膜材料研发。
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