PVD 镀膜材料 / 溅射靶材
钇铝合金靶
产品规格
| 产品名称 | 钇铝合金靶 |
|---|---|
| 产品线 | PVD 镀膜材料 |
| 产品类别 | 溅射靶材 |
| 化学式 / 成分 | Al-Y |
| 纯度 | 99.9%~99.99% |
| 标准尺寸 | 圆靶直径 < 350mm;矩形靶宽度 < 240mm;矩形靶长度 < 550mm |
| 包装 | 真空包装 |
| 定制 | 是 |
产品特点
圆形，方形
应用领域
合适比例的钇铝合金溅射形成YAG膜层，主要用于高端OLED/折叠屏IGZO背板掺杂、柔性 TFE 阻隔膜，同时作为半导体高k介质与扩散阻挡层，支撑高世代面板与先进芯片量产。 还可沉积航空发动机高温热障涂层、核电抗腐蚀防护膜、燃料电池电解质及红外激光光学薄膜，覆盖新能源、特种装备与前沿材料研发。
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