铝钪锗钽多元合金靶

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铝钪锗钽四元合金靶核心用于一步溅射制备 5G 毫米波 AlScGeN 压电薄膜，兼具钽天然扩散阻挡特性，同时作为 IGZO 高端显示背板掺杂、FeRAM 铁电存储复合膜，简化器件膜层工艺堆叠。 还可沉积第三代半导体功率器件缓冲层、钙钛矿光伏钝化电极、航空高温防护镀层，主要用于射频通信、先进存储、高端面板与前沿微电子材料研发。 在显示行业，用于替代铝靶和铝钕靶，解决镀膜时的高温凸起（hilllock）问题，并且是显示面板能适应更高的使用温度场景。