알루미늄-스칸듐-게르마늄-탄탈럼 합금 타깃

제품 사양

제품 특징

정사각형

적용 분야

알루미늄-스칸듐-게르마늄-탄탈륨 4원 합금 타겟은 5G 밀리미터파 AlScGeN 압전 필름의 1단계 스퍼터링에 사용되는 반면 탄탈륨은 자연적인 확산 장벽 특성에 기여합니다. 또한 IGZO 고급 디스플레이 백플레인 도핑 및 FeRAM 강유전성 메모리 복합 필름에도 사용되어 장치 필름 스택 공정을 단순화합니다. 추가 응용 분야에는 3세대 반도체 전력 장치용 버퍼층, 페로브스카이트 광전지용 부동태화 전극 및 고온 항공우주 보호 코팅이 포함됩니다. 디스플레이에서는 코팅 중 힐록 문제를 줄이고 패널이 더 높은 작동 온도 조건을 견딜 수 있도록 알루미늄 및 알루미늄-네오디뮴 타겟을 대체할 수 있습니다.